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[导读]上个世纪80年代初Brewer Science发明了Anti-Reflective Coatings(防反射涂层,简称“ARC®”)材料,由此革新了光刻工艺,Brewer Science一直致力于通过技术创新不断推动摩尔定律向前发展。 上个世纪80年代初Brewer Science发明了Anti-Reflective Coatings(防反射涂层,简称“ARC ...